La Chine est-elle sur le point de rivaliser avec le néerlandais ASML ? Le pays, autrefois accusé d’espionnage de données, semble prêt à proposer ses propres appareils de lithographie.

La Chine a mis au point une machine lithographique à ultraviolets profonds (DUV) de fabrication nationale, une annonce qui avait fait beaucoup parler d’elle dans les médias. Mais cet équipement ne devrait pas, pour l’heure, constituer une menace sérieuse pour le fabricant néerlandais ASML.
Une entreprise d’État derrière la percée
La machine a été développée par le Shanghai Aishengna Electronic Technology Group, une entreprise publique chinoise qui entretient des liens avec Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE) et le Shanghai Electric Group.
C’est SMEE qui pilote les efforts de la Chine pour se doter d’équipements lithographiques domestiques, dans le cadre d’une stratégie plus large visant à contourner les sanctions occidentales.
Un scanner à immersion, encore à l’étape du test
L’équipement en question est un scanner à immersion, un type de machine qui utilise de l’eau pour imprimer les circuits sur les puces. Malgré l’annonce, le rapport de Reuters indique que la machine nécessite encore des phases de test supplémentaires avant de pouvoir prétendre rivaliser avec les équipements d’ASML.
Il convient de rappeler que les sanctions occidentales visant la Chine portent sur les machines à ultraviolets extrêmes (EUV), les plus récentes et les plus avancées. Les machines DUV, elles, ne font l’objet d’aucune restriction. ASML en est le principal fabricant et fournisseur mondial, avec une position dominante sur le marché des DUV avancés comparable à celle qu’il occupe sur le segment EUV.

Contrairement aux machines EUV, les DUV fonctionnent avec des longueurs d’onde lumineuses plus longues pour imprimer les circuits, et utilisent des lentilles ainsi que des lasers. La fabrication de machines EUV est un processus bien plus complexe, notamment parce que les longueurs d’onde plus courtes impliquées nécessitent de créer un environnement sous vide à l’intérieur de l’équipement.
La Chine reste un client important d’ASML
Paradoxalement, la Chine demeure l’un des principaux clients d’ASML, malgré des accusations d’espionnage. Selon les dernières données du fabricant néerlandais, la Chine a représenté 16 % de son chiffre d’affaires au premier semestre 2026, soit 2,6 milliards d’euros. Elle occupe ainsi la troisième place parmi les marchés d’ASML, derrière Taïwan et la Corée du Sud.
Des limites techniques à ne pas négliger
Les machines DUV sont généralement utilisées pour produire des puces gravées en 7 nanomètres ou dans des nœuds plus grands. Il est techniquement possible de fabriquer des puces plus avancées avec ces équipements, mais cela passe par une technique appelée la multi-patterning. Cette méthode tend à générer davantage de défauts et à réduire les rendements de production. Elle diminue également le débit de la machine et alourdit les coûts de fabrication des plaquettes de silicium.
Concernant les machines EUV, des rapports en provenance de Chine indiquent que Pékin vise une mise en production pour 2030, avec des acteurs comme Huawei qui joueraient un rôle central dans leur développement.