Nouveaux scanners EUV en 2020 pour graver en 3 nm, le 2 nm envisageable

Un scanner à ultra-violets extrêmesUn scanner à ultra-violets extrêmesDans une interview donnée à Semiconductor Engineering, Jan van Schoot, haut responsable chez l’équipementier ASML, explique que des scanners à ultra-violets extrêmes (EUV) à grande ouverture numérique (0.55) permettrait de graver en 3 nm d’ici 2020 - 2023. Les machines pourraient même graver en 2 nm ultérieurement, mais les processus de fabrication seraient si coûteux que la technologie serait réservée à quelques grandes entreprises, dans un premier temps.

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Contraintes

Les coûts de fabrication sont en partie dus aux optiques Zeiss extrêmement chères et les miroirs qui doivent être polis au niveau du picomètre. La question est aussi de savoir si les équipementiers pourront accroître l’ouverture numérique. Si cela est physiquement possible, plus l’ouverture est grande, plus la machine est limitée dans le nombre de finesses de gravure qu’elle peut offrir. Or, les fabricants utilisent de plus en plus de finesses sur un même die pour faciliter sa conception. En attendant, les fondeurs devraient prochainement commencer à utiliser les premiers scanners EUV pour leurs 7 nm et 5 nm.

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5 commentaires
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  • ricici123
    Des miroirs polis au picomètre ? On est juste à une très taille inférieur au plus petit atome (l'hydrogène, rayon de 53 pm)... Donc nanomètre peut être, picomètre c'est absurde.
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  • David Civera
    Citation:
    We have mirrors that are polished at the picometer level


    C'est pas moi qui le dit :)

    https://semiengineering.com/extending-euv-to-2nm-and-beyond/
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  • ricici123
    Peut être (et l'expression revient plusieurs fois dans l'interview), mais ceci ne veut pas dire qu'il y a un lien avec la réalité. Polir un cristal plus finement que son paramètre de maille est physiquement impossible et écrire ceci est faire preuve d'une ignorance flagrante de la physique. Un miroir ne peut être plus lisse que la rugosité de surface d'un cristal parfait qui est lui donné par la taille typique d'un atome (entre 50 et 500 picomètres en fonction des atomes et de la définition que l'on utilise).

    En réalité cette erreur est d'autant plus amusante puisque les longueurs d'onde utilisées en EUV font que ce n'est pas que la surface qui est important. Il commence à y avoir probablement des effets des défauts présents dans le cristal du miroirs qui doivent avoir des effets sur leur propriétés optiques.
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