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La Fab 34 d’Intel située en Irlande a reçu sa première machine EUV

Elles servira notamment à la fabrication des processeurs Meteor Lake basés sur le nœud Intel 4.

Intel a annoncé la livraison de la première machine EUV dans sa Fab 34 située à Leixlip, en Irlande. C’est la première des quatre qui seront installées sur le site. Elles serviront pour le processus de fabrication Intel 4 (7 nm).

Image 1 : La Fab 34 d'Intel située en Irlande a reçu sa première machine EUV
Image 2 : La Fab 34 d'Intel située en Irlande a reçu sa première machine EUV
Image 3 : La Fab 34 d'Intel située en Irlande a reçu sa première machine EUV

Dans son communiqué de presse, Intel écrit : « Une étape importante a été franchie pour la Fab 34, la nouvelle usine d’Intel en Irlande. La première machine de lithographie EUV, un élément clé de la technologie du processus Intel 4, est arrivé dans la nouvelle usine. Cette machine, fabriquée par le constructeur néerlandais ASML, est sans doute la pièce de machinerie la plus compliquée que l’homme ait jamais construite et son arrivée représente un moment important pour la phase d’installation du projet Leixlip ».

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Une usine à 7 milliards de dollars

La société explique que les scanners de lithographie « génèrent une lumière EUV d’une longueur d’onde de 13,5 nm en diffusant des micro-gouttelettes d’étain dans une chambre à vide et en la frappant deux fois avec un faisceau laser CO2 de 25 kW. Le premier tir à faible énergie évapore la gouttelette en un nuage en forme de pancake, le second tir à haute énergie transforme le nuage en un plasma qui est focalisé en un faisceau qui rebondit sur une série de miroirs avant de capter et de fixer l’image du circuit dans la tranche de silicium pour imprimer des milliards de transistors et d’autres caractéristiques sur le wafer.

Ce dispositif peut graver des éléments d’une taille de 13 nanomètres (7500 fois plus petits qu’un cheveu humain) avec une précision d’alignement d’un peu plus d’1 nm. Pour replacer ces chiffres dans leur contexte, cela équivaut à diriger un pointeur laser sur le bout de votre doigt depuis la lune. »

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La machine EUV, livrée par ASML depuis la Hollande, a d’abord transité par une usine située dans l’Oregon avant d’arriver en Irlande.

Les travaux de construction de la Fab 34 ont débuté en 2019 et doivent s’achever l’année prochaine. Le montant de l’investissement pour cette usine s’élève à 7 milliards de dollars. Enfin, sachez que les premiers processeurs censés bénéficier de l’Intel 4 ont pour nom de code Meteor Lake. Intel échantillonne déjà des puces dans sa Fab 42 (Arizona).

Sources : Intel 1, Intel 2